半导体微型气体质量流量计CXB-4-R4-D-A1-F4

半导体微型气体质量流量计
型号:GFMM-CXB-4-R4-D-A1-F4
量程:0-200SLM Air
耐压:3MPa
用途与特点
质量流量控制器用于对气体的质量流量进行测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、是有工业、医药和真空等多种领域的科研和中有着重要的作用。其应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
半导体微型气体质量流量计CXB-4-R4-D-A1-F4

主要技术指标
1 量程范围 （0~5，10,20,30,50,100,200,300,500...）SCCM
（0~1,2,3,5,10, 50,100,200,500...） SLM
2 准确度 +1.0%F.S
3 线性 +0.5~1.5%F.S
4 重复精度 +0.2%F.S
5 响应时间 电特性：10sec 气特性：（1~4）sec
6 工作压差 （0.1~0.5）MPa
7 耐压 3MPa
8 工作环境温度 0~70℃
9 数字量 RS485 MODBUS协议
10 模拟量 DC 0~5V ，4~20mA 可选
11 供电 DC +15V/24V 可选，流量计＜400mA，控制器＜600mA
12 电气连接 DB15
13 漏率 1×10-8SCCSHe
14 底座材质 316L不锈钢
15 密封材质 氟橡胶，丁晴橡胶，氯丁橡胶
16 气路接头 Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞