三氧化二硼硼硅片 ZJ333-PWB2库号：M27823

产品名称：三氧化二硼硼硅片
产品型号:PWB2
产品规格：100*4mm
微晶玻璃片状扩散源
使用说明书
一 前言
PWB－硼微晶玻璃片状扩散源是一种的扩散源，它适用于半导体元器件和集成电路的硼扩散工艺，具有稳定性、均匀性，目前已被半导体行业应用。

三氧化二硼硼硅片 ZJ333-PWB2库号：M27823

二 规格与参数
（1）规格
PWB1淡硼 PWB2浓硼
特殊规格 Φ40*1.5mm 特殊规格 Φ40*2.5mm
特殊规格 Φ45*1.5mm 特殊规格 Φ45*2.5mm
2英寸 Φ50*1.5mm 2英寸 Φ50*2.5mm
3英寸 Φ76.2*3mm 3英寸 Φ76.2*3mm
4英寸 Φ100*4mm 4英寸 Φ100*4mm
（2）参数
PWB1淡硼 PWB2浓硼
硼含量 B2O3≥43％ B2O3≥45％
膨胀系数 49*10-7＋3*10-7/℃（20℃～400℃）
扩散温度 900℃～1050℃
方块电阻 RS≥30Ω/□ RS≥15Ω/□
（根据其他条件不同，RS值可以有所差异）
三 使用说明
（一）源片清洗方法
主要是去-除源片表面所沾染的杂质。有以下两种方法：
（1） A 用丙酮棉花擦洗表面后，在乙醇中漂洗2～3秒；
B 用50℃～60℃的去离子水冲洗1～2分钟；
C 冷去离子水冲洗10～15分钟；
D 用红外灯烘4～5小时。
（2） A 用丙酮与乙醇棉花先后擦洗源片正反两面及四周；
B 用50℃～60℃的去离子水冲洗1～2分钟；
C 冷去离子水冲洗10～15分钟；
D 用红外灯烘4～5小时。
源片的清洗和烘干应连续进行，在红外灯烘干的过程中，如源片出现发黑现象，说明有-机溶剂未冲洗干净，烤源时通少量氧气，即可除-去。
经清洗和烘干以后的源片，即可放入石英管中随炉升温烤源。