气体质量流量控制器 型号:KM12-CS50库号：M390287   

产品特点

安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。

输入输出信号

0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)

流量规格1:（N2)产品特点

本产品具有稳定、响应时间短、标定精和重复精高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使 用,也可通过模拟数字信号转换器( AD/DA转换器)配合计算机使用。

流量规格(N2标定)

0~ 5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM

0~ 1.,2,3,5,10,20,30 SLM

注:满量程流量不限于此处列出的流量规格,可以在5SCCM ~ 30SLM范围内任选,例如123SCCM。

输入输出信号

0~ +5.00V (输入阻抗大于100kQ ,输出电流不大于3mA)

流量规格：0-5 10 20 30 50 100 200 300 500 SCCM

调节阀类型：常闭型

量程比：2-FS或者50:1

流量分辨率：0.1%FS

准确度：1%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

线性：0.5%FS 小于15SLM

2%FS 大于15SLM

重复：0.2%FS

相应时间：小于2S

工作压差范围：0.1-0.5MPA 小于10SLM

0.1-0.3MPA 大于10SLM

大耐压：3MPA

工作环境：5-45度

电缆接头：DB15in(针形）

输入输出信号：0-5V（输入抗阻大于100K欧 输出电流不大于3MA）

供电电源要求：+15VDC 80MA -15VDC 2000MA