瑞士丹青TOPOS激光干涉平面度快速测量机，采用掠入射光干涉原理，专注于高精密加

工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于航空航天，汽车工业喷油嘴行业，泵、阀门密

封件表面，以及光学工程，激光工程等领域。

激光快速平面度测量仪，采用掠入射光干涉原理，专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于半导体行业（Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、阀门密封件表面(Sealing surfaces)，以及光学工程，激光工程等领域。

平面度测量仪 产品特点：
◆ 非接触式平面度测量接触
◆ 高精密评估: ＜0.4μm
◆ 测量速度快: ＜3秒
◆ 可用于车间现场, 100%全检
◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测
◆ 表面自动识别系统, 或手动指定区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估
◆ 数据采集量大, 完成对300,000点的评估
◆ 快速生成并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件
◆ 广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等
平面度测量仪技术参数：

型 号 TOPOS 50 TOPOS 100 TOPOS 200KT TOPOS 300KT TOPOS 100DT

测量范围(直径) mm 50 100 190 290 420

参考平面平面度 μm 优于0.06

参考面材料 石英玻璃

灵敏度 μm 每纹0.5,1,2或4

精度 μm (0.1…0.4) + 2%x测量值, 基于灵敏度

Z轴波动范围 μm 低于100, 表面斜度所限制

FLTt重复性 μm 优于0.011)

分辨率 μm 优于0.01

数据采集量 point 300000

测量时间 S 小于2 小于30

重量 kg 95 185 218 255 230

应用示例：

德国Lamtech激光快速平面度测量仪，测量高，效率快，即可以在实验室使用，也能在车间现场使用。