3D光学表面轮廓仪技术参数热销
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      瑞士丹青TR-SCAN微观形貌光学粗糙度测量仪,广泛应用于高精密微观表面检查。与传统非接触测量技术相比,测量速度快,对振动不敏感,实现三维形貌纳米级测量。模块化的设计理念,可配置色谱共焦传感器,白光干涉传感器。传感器直接更换,方便快捷,满足不同的应用领域。即可用于计量单位和材料科学研发实验室,也广泛应用在工业制造领域:汽车、航天、航空、表面涂层、医疗产品、微型电机系统、半导体等行业。


3D光学表面轮廓仪图片展示

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3D光学表面轮廓仪主要特点:

  • 强大的多点共焦技术,准确的测量出表面形貌数据(角度、半径、轮廓、粗糙度)

  • 通过光学方式测量Ra、Rq、Rz等粗糙度参数

  • 测量速度快,可整合成一个高效的在线测量系统

  • 适用于陡峭的斜面,爬坡角度高达85度

  • 垂直分辨率高达30nm

  • TRSCAN是可同时获得表面形貌和真实颜色信息的3D测量设备,测量更加灵活

  • 通过脚本自动测量,更适用于批量测量,并生成图形或数字

  • 粗糙度和轮廓测量符合国际公认EN/ISO4287标准

  • 可用于选定区域的面积及体积计算

  • 可选配转台,实现三维扫面

  • 可用于复杂几何外形的形状分析,可测量角度、半径等表面特征

3D光学表面轮廓仪技术参数

工作台移动范围X 100mm

 工作台移动范围Y 固定式

 工作台移动范围Z 240mm

 XYZ轴位移量0.1μm 

 XYZ轴定位 1μm

 XY轴导轨直线度 1.5μm

 工件重量20kg 

 测量原理非接触式多点谱线共焦传感器 

 光源 白色LED共轴光,高强光,数字可控

 色谱共焦传感器 CLS0.2 CLS1 CLS4
 线宽 0.96mm 1.92mm 4.8mm
 工作距离 5.3mm18.2mm 39mm 
 光斑间隙5μm10μm 25μm 
 光斑大小 2μm4μm 10μm 
 爬坡坡度 ±44deg  ±33deg  ±20deg
 测量范围 200μm950μm 4mm 
 轴向分辨率30nm 120nm 500nm 
  90nm360nm 1.5μm 
 厚度分辨率15μm 70μm 300μm 
 测量厚度300μm 1.5mm 6mm 

    3D光学表面轮廓仪全自动共焦三维测量。专用于刀具制造工业,根据多点谱线共焦,入射200束光到工件表面,在每束光路上自动聚焦,快速获得刀具表面三维形貌,采用此次多点谱线共焦传感器和图像处理系统,可以对各种复杂的刀刃及其模具进行准确的测量,具有完善的分析功能模块,对其表面形貌进行轮廓、面积、体积、粗糙度、截面等测量。


新旧程度

全新

工件重量:

20kg

XYZ轴位移量:

0.1μm

工作台移动范围X:

100mm

XYZ轴定位:

1μm

工作台移动范围Y:

固定式

XY轴导轨直线度:

1.5μm

工作台移动范围Z:

240mm