UP1L科研用纯气体纯化器
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气体纯化器是集成电路、LED、太阳能板、光纤、燃料电池等制造工艺中不可少的重要装备,并可离子溅射、薄膜生长、焊接、配气等多项技术的工艺性能。UP1L 纯气体纯化器系列主要服务于各类科研与分析仪器,如气相色谱仪、辉光质谱仪、光谱仪、镀膜机等,为其高纯度载气或分析气,也可用于材料气相沉积生长、磁控溅射镀膜、高焊接等用气纯度。

气体种类

产品用途

应用领域

He

载气、保护气纯化

色谱仪等分析仪器载气

Ar

载气、保护气、吹扫气纯化

辉光质谱仪、磁控溅射、纳米材料制备,热处理保护气,氩弧焊吹扫气

N2

保护气、吹扫气纯化

磁控溅射反应气、气路吹扫气

H2

反应气、保护气纯化

材料生长、镀膜反应气、退火保护气