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50xNikon相干测量物镜
产品说明:
· 适合非接触光学压型
· 可选Michelson 和 Mirau 镜头
· 200mm镜筒远场校正设计
干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上,通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度,测量高,在一个波长之内。一束光通过分光镜,可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合,就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来,Michelson镜头拥有更长的工作距离,更宽的视场和更大的焦深。Mirau镜头用在需要率和/或大数值孔径的场合。采用Nikon 200mm镜筒(#58-520)的话可将镜头直接装配到C接口相机上。
品名型号 | 50xNikon相干测量物镜 | 产品号 | 59-314 |
放大率 | 50X | 数字孔径(NA) | 0.55 |
焦深(μm) | 0.9 | 视场, 1/2" 传感器 | 0.13 x 0.10mm |
视场, 2/3" 传感器 | 0.18 x 0.13mm | 视场,20直径视场目镜 (mm) | 0.22 |
视场,25直径视场目镜 (mm) | 0.5 | 焦距 | 4.0 |
生产商 | Nikon | 安装螺纹 | RMS |
分辨能力 (μm) | 0.5 | 类型 | Mirau |
重量 (g) | 150.00 | 工作距离WD (mm) | 3.4 |
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5xNikon干涉物镜
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20xNikon非接触干涉镜头
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