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图文详情
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产品属性
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5xNikon干涉物镜
产品说明:
· 适合非接触光学压型
· 可选Michelson 和 Mirau 镜头
· 200mm镜筒远场校正设计
干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上,通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度,测量高,在一个波长之内。一束光通过分光镜,可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合,就产生了干涉图案。与Mirau镜头比起来,Michelson镜头拥有更长的工作距离,更宽的视场和更大的焦深。Mirau镜头用在需要率和/或大数值孔径的场合。采用Nikon 200mm镜筒(#58-520)的话可将镜头直接装配到C接口相机上。
品名型号
5xNikon,CF, IC EPI Plan TI相干测量物镜
产品号
59-311
放大率
5X
数字孔径(NA)
0.13
焦深(μm)
16.2
视场, 1/2" 传感器
(FOV, 1/2" Sensor)
1.28 x 0.96mm
视场, 2/3" 传感器
(FOV, 2/3" Sensor)
1.76 x 1.32mm
视场,20直径视场目镜 (mm)
2.2
视场,25直径视场目镜 (mm)
5.00
焦距
FL (mm)
40.0
生产商
Nikon
安装螺纹
RMS
分辨能力 (μm)
2.1
类型
Mirau
重量 (g)
280.00
工作距离WD (mm)
9.3
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用于三维表面形貌仪,表面轮廓仪,白光干涉显微镜等测量设备的镜头。
适用型号:MicroXAM系列,Newview7000系列,Newview8000系列,Wyko各型号,Contour Elite系列,ContourGT系列,Talysurf系列,SMARTWLI系列等几乎的白光干涉原理非接触式表面三维形貌测量仪。
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