日立TM4000扫描电镜的低真空系统使得样品不需任何处理即可快速进行观察。TM4000优化提供5kV、10kV、15kV三种不同电压下的观察模式，每种模式下电流4档可调，并配备4分割背散射探测器，可采集四个不同方向的图像信息，对样品进行多种模式成像。具有的SEM-MAP导航功能，同时，电镜图片可以形式导出。配备大型样品仓，可容纳样品直径80mm，厚度50mm。

TM4000Plus是在TM4000基础上增加高灵敏度低真空二次电子探头UVD，该探头在低真空环境下具有很好的成像质量。TM4000Plus可将二次电子图像和背散射电子图像叠加并实时进行显示，获得多的样品信息。可选配附件丰富，拥有诸多附加功能。