能量色散X射线荧光光谱仪主要由激发、色散、探测、记录及数据处理等单元组成。

激发单元的作用是产生初级X射线。它由高压发生器和X光管组成。后者功率较大，用水和油同时冷却。色散单元的作用是分出想要波长的X射线。它由样品室、狭缝、测角仪、分析晶体等部分组成。 能量色散X射线荧光光谱仪技术原理能量色散X射线荧光光谱仪是一种波长较短的电磁辐射，凡间是指能t局限在0.1^-100keV的光子。

能量色散X射线荧光光谱仪与物质的互相效果首要有荧光、接收和散射三种。能量色散X射线荧光光谱仪是由物质中的构成元素发生的特征辐射，经过侧里和剖析样品发生的x射线荧光，即可获知样品中的元家构成，获得物质成分的定性和定量信息。能量色散X射线的发生与特征当用高能电子束照耀样品时，人射高能电子被样品中的电子减速，这种带电拉子的负的加快度会发生宽带的延续X射线谱，简称为延续潜或韧致辐射。 

另一方面，化学元素遭到高能光子或粒子的照耀，如内层电子被激起，则当外层电子跃迁时，就会放射出特征X射线。能量色散X射线是一种别离的不延续谱.假如激起光源为x射线，则受激发生的x射线称为二次X射线或X射线荧光。特征X射线显示了特征能量色散X射线荧光光谱仪发生的进程。当人射x射线撞击原子中的电子时，如光子能量大于原子中的电子约束能，电子就会被击出。这一互相效果进程被称为光电效应，被打出的电子称为光电子。经过研讨光电子或光电效应可以取得关于原子构造和成键形态的信息。

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