真空热压键合机产品简介

WH-2000A真空热压键合机是苏州汶颢微流控技术股份有限公司开发，用于PMMA、PC、COC等硬质塑料芯片的键合，是国内外款硬质塑料微流控芯片加工设备。

真空热压键合机产品特点

(1) 使用恒温控制加热技术，温度控制准确；

(2) 铝合金工作平台，上下面平整，热导速度快，热导均一；

(3) 加热面积大，涵盖常用大小芯片；

(4) 风冷降温，降温速率均一，有利于键合效果；

(5) 压力准确可调，针对不同的材料选用不同的压力控制；

(6)采用的真空热压系统，在芯片不损坏的情况下大幅度键合

真空热压键合机技术参数

1、 外形尺寸：470×415×876(长×宽×高)mm；

2、重量：80kg；

3、工作面板面积：230×200(长×宽)mm；

4、可键合芯片厚度：0~140mm；

5、额定电压：AC220V/50HZ；

6、压力范围：0~5kN；

7、额定功率：1.4KW；

8、 额定max温度：200℃；

9、单次PMMA等硬质塑料芯片键合时间：约1.5小时；

真空热压键合机特征图解

(1) 气缸；

(2) 精密调压阀；

(3) 显示屏；

(4) 玻璃观察窗；

(5) 电源接口；

(6) 上板调温旋钮；

(7) 上板温度开关；

(8) 风扇开关；

(9) 气缸控制开关；

(10) 下板温度开关；

(11) 下板调温旋钮；

示意图1

(12) 气压数显表；

(13) 真空表；

(14) 密封圈；

(15) 进气口；

(16) 气源；

(17) 真空抽气口。

注：以上图案以实物为准，如有变动恕不另行通知。