MT-30A系列仪表式配气仪概要                                
 
MT-30A系列采用温度变化对应于质量流量的原理，可以对不同的气体进行流量测量及控制。
可应用在5SCCM到30SLM的气体流量范围，并且不会受到温度及压力变化的影响。
产品系列完整，可选择数字式，模拟式，普通，高，高压力型，性能且价格具有竞争力，应用领域广泛。
MT-30A系列仪表式配气仪特点                                
 
o 模拟式热质式流量计/流量控制器：
- 低单价
- 环境温度补正
- 可应用的流率范围广：
- 0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM
- 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30SLM
o 高
±1%(≤15SLM)
±2%(＞15SLM.)
o 可选用LF系列控制模块，具有数位显示、电源供应、流量设定等功能
o 国际兼容
 
MT-30A系列仪表式配气仪应用                                
 
o 工业设施的气体供应监测/控制。
o 气体分析设备。
o 固定气体流量控制。
o 气体混合或分离设备
 
MT-30A系列仪表式配气仪标准                                气体质量流量用氮气(N2)标定。
标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
 流量范围是以mL/min，L/min 为单位
 例：
5mL/min 表示为005
500mL/min表示为500
 50 L/min(nor) 表示为50L

MT-30A系列仪表式配气仪规格 (热式)