特点

低噪声，直流电驱动

隔离套装实现P电信测试

隔水循护chuck底座

可以在大多数探针台上加装

易于装卸

规格

真空吸附载物台的尺寸 

4, 6, 8,英寸直径，1英寸厚度 

Chuck 平整度

+ -10 微米 

控温范围

常温到300摄氏度

控温

0.1℃

温度稳定度

+- 1%

从25 ℃开始升温时间  

100 ℃    150 ℃    200 ℃  300 ℃

(4 英寸chuck，单位为

分钟：秒 ) 

1:00      2:30      3:00    4:30

电源

直流

材质

不锈钢 

需求

供电

220 VAC, 60Hz

电力消耗

4英寸chuck 700W

6英寸chuck 1000W

8英寸chuck 1500 W

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

循环水

20 Liter/Min

尺寸

控制器 350mm长 x 300mm宽 x 150mm高 

重20 Kg

附件

高温配件，可以升温至300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃

低温配件，可以冷却至5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低温至-196 ℃

用于其他品牌探针台的安装转接口 

方形chuck 

更高温度控制

更高温度均匀性

加速升温配件

水冷箱

更低电流测试用的屏蔽装置

真空腔体

测试屏蔽腔体

真空吸附的chuck

镀金的chuck

镀镍的chuck