特点

亚微米工艺集成电路电路测试

亚微米工艺集成电路电路测试

线性移动

价格实惠

线性，无后座力移动

线性，无后座力移动

I/O Pad 点测

线性移动

可以配合同轴/三轴探针夹具使用

可以配合同轴/三轴探针夹具使用

电路点测

I/O Pad 点测

夹具可以30度范围倾仰

夹具可以30度范围倾仰

射频测试

光电器件点测

可以使用钨探针

可以使用钨探针

较小的体积

体积小

可以配置为东/南/西/北四个方向的射频针座

可以配置为东/南/西/北四个方向的射频针座

可以配合同轴/三轴探针夹具使用

可以配合同轴/三轴探针夹具使用

射频测试能力：直流到 40GHz ~ 120GHz

射频测试能力：直流到 40GHz ~ 120GHz

可以配合使用校准片和校准软件

可以配合使用校准片和校准软件

探头接口和线缆45度连接，无需L型转接头

探头接口和线缆45度连接，无需L型转接头

探头可以拆卸维修

探头可以拆卸维修

带射频测试线固定装置

带射频测试线固定装置

规格

X-Y-Z方向行程

8 x 8 x 8mm

X-Y-Z移动行程

12 x 12x 12mm

X-Y-Z移动行程

12 x 12 x 12mm

X-Y-Z移动行程

12 x 12 x 12mm 

 线性移动

线性移动

 线性移动

线性移动

丝杠

700 Thread / Inch

丝杠

100 Thread / Inch

丝杠

80 Thread / Inch

丝杠

40 Thread / Inch

移动

0.1 微米

移动

0.7 微米

移动

2 微米

移动

10 微米

尺寸

100长 x 140宽 x100mm高

90长 x 130宽 x 90mm高

52宽 x 96长 x 76mm高

38宽x 62长 x 45mm高

重 1100 克

重700 克

重 350 克

重200 克 

附件

三轴探针夹具

同轴探针夹具

磁力底座，磁力翻转底座，真空底座

电动针座升级

射频探头

光纤探头

低电流/电容点测配件

高压配件