外形

860mm*850mm*700mm

880mm*860mm*750mm

 1300mm*920mm*920mm

重量

180KG

250KG

380KG

电力需求

AC220V,50~60HZ

Chuck

尺寸

6inch

8inch

12inch

X-Y轴行程

6*6inch

8*8inch

12*12inch

X-Y轴移动解析度

0.04um/0.1um

X-Y轴重复定位

±1um

移动速度

≥ 50 mm/sec

Z轴行程

10mm

Z轴移动解析度

0.1um

Z轴重复定位

±1um

Theta角度行程

±15°

Theta角度解析度

0.0003°

光栅尺

带光栅尺

样品固定方式

多孔真空吸附，分区控制

切换样品功能

样品台快速拉出

结构

同轴高压设计，镀金，电学悬空，可作为背电使用

针座平台

规格

O型平台，多可放置8个针座

O型平台，多可放置10个针座

O型平台，多可放置12个针座

行程&调节方式

平台可以快速升降，行程 6mm并带自动锁定功能;可以上下微调，行程25mm，升降1um

控制方式

手动控制盒(可选择带操纵杆)

软件控制

软件功能

wafer map的编辑

仪器的接入

数据的采集和图像化显示

数据的分析

差异数据的标定Ink mark

自定义Bin分

自动测试

通讯接口：RS232/EtherCAT/GPIB等

大功率规格

配置

大功率kelvin样品台

大功率夹具线缆

mult-pin 分流探针

大功率保护模块(针座用)

保护红外光幕，人员误进入工作区，触发时interlock互锁

大功率仪器连接模块

测试电压

10KV

测试电流

500A(脉冲)

光学特性

显微镜行程

2*2inch

显微镜行程

1um

放大倍数

20-4000X

CCD像素

50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)

点针规格

点针

10微米/2微米/0.7微米

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm

漏电 

10pA/100fA

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA，SHV接口

温控特性

温度范围

﹣100~200℃

﹣80~200℃

﹣60~200℃

温控

温度分辨率 ： 0.01°C

加热电源

LVDC 低压直流

控温速率   

±0.1°C  /小时 

传感器

Pt100

制冷方式

液氮制冷

减震

主动式减震系统，能够实现50X 物镜下画面不抖动

可选附件

chuck快速拉出装置

显微镜倾仰装置

激光

探针卡夹具

光强/波长测试接口部件

加热台

高低温样品台(-80~200℃)

震桌

射频测试

PCB板夹具

液晶热点侦测套装

屏蔽箱

卡盘镀金

运用方向

晶圆自动测试，功率器件自动测试