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SCG高低温真空探针台
价格：￥1.00
地区：广东省 深圳市
电 话：0755-26906952
手 机：17727415912
传 真：0755-85299649

深圳市森美协尔科技有限公司

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低温和高温真空探针台SEMISHARE真空环境高低温测试技术以下两个应用需要真空测试环境。低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。 晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，SEMISHARE针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。 SCG-C-4(闭循环)/SCG-O-4(开循环)特点：载物Chuck 温度范围：4K-500K         外置4个定位针臂，预留2个探针X-Y-Z三方向移动，行程：25.4mm，定位：10微米多可以外置6个定位针臂载物chuck 可到8英寸双屏蔽chuck高低温时100FA 的测试针臂定位可以升级为0.7微米可以选择射频配件做67 GHz的射频测试可以选择震桌可以选择真空腔体,限真空到10-10 torr客户订制
 温控规格:  
控温范围4K-500K
控温0.001K
温度稳定性4 K        + - 0.1 K
77 K     + - 0.1 K
373 K    + - 0.08 K
473 K       + - 0.1 K
823 K       + - 0.2 K(可选)
973 K    + - 1.0K(可选)
常温到8K冷却时间:1小时40分钟
8K到常温升温时间:1小时30分钟
 从常温开始的升温时间          473K       823K        973K
 (4 chuck，单位分：秒)25:00      55:00        70:00
电源直流
材质SS304
功率(4chuck) 50/100W
       机械规格                               
 针座行程
 X轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm 
 Y轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm 
 Z轴方向25.4mm(1 inch)
可以选择50.8mm 
移动
 X轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 Y轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 Z轴方向10 micron
可以选择0.35,0.7,5,10 or 20 micron
 探针可旋转角度(应用于射频测试) +-5 度
 光学部件规格
显微镜X-Y轴方向行程2"*2"
可以选择4"*4"
总共放大倍率240X
可以选择更率
真空腔观察窗口4 inch
外部石英材质99%穿过率
内部吸收可见光通过
光源150W可连续调节双光纤导引
  可选附件震桌方形chuck分子泵组射频部件Chuck可外部移动装置客户定制。