高低温分析探针台

特点

-80~200℃无霜控温

舒适大手柄驱动CHUCK

可以升级做射频测试

20X~4000X 光学显微放大

无后座力移动

针座平台可以快速升降便于wafer取放

规格

真空吸附型Chuck

8" 不锈钢

Chuck X-Y轴行程

8" x8"

Chuck 旋转角度

0~360 度

针座平台上下升降行程

6mm   通过升降杆调整

针座平台

可以放置8个针座

显微镜X-Y轴行程

2" x2"

需求

电力

220 VAC, 60Hz

真空

-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸

840mm长 x 660mm宽 x 700mm高(带显微镜)

重 160   Kg(带显微镜)

可选附件

Chuck快速拉出装置

显微镜倾仰装置

激光

探针卡夹具

加热台

高低温样品台(-80-200℃)

震桌

显微镜暗场 /   Normarski 检测

带真空底座的活动Chuck

光强/波长测试接口部件

射频测试探头和线缆

有源探头

 低电流/电容测试

高压测试(3KV)/大电流测试(10A)

CCD视频系统

封装器件夹具

PCB板夹具

液晶热点侦测套装

屏蔽箱

镀金Chuck