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半导体生产用高纯氩气配套瑞泽氩气净化设备
本公司在总结高纯氩气使用行业以及使用要求不同的基础上,精心设计制造的一款高纯氩气纯化装置、净化装置、净化器应用广泛,精巧的外观设计,合理的销售价格,恒定的质量保障,热诚的服务,实为质优价廉之精品。
原料氩气(液氩)纯度为≥99.99%时,采用分级净化处理工艺,步:采用催化剂,先对普氩进行预处理,脱除氩气中的氧、一氧化碳、二氧化碳、氢气、甲烷等杂质;第二步:采用干燥剂对氩气中水份、二氧化碳吸附;第三步采用非蒸散型吸气剂为净化剂,在温度下,吸气剂可与氩气中杂质C、O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体进行深度净化,经三级净化后的高纯氩气经精密金属烧结过滤器滤除尘埃颗粒,终获得高纯度氩气。
干燥装置为复式流程,用两只吸附干燥器并联,一只工作,同时另一只可以进行再生处理,相互交替工作和再生,以连续运行。干燥器在常温下工作,干燥器再生时需加温至300℃用高纯氩气冲洗再生。再生自动运行。
应用范围:主要用于高纯气体、纯气体充瓶、分装.半导体生产;气相色谱仪,科学仪器、光谱仪等的配套;是检测分析行业推荐使用的配套仪器产品,他们广泛的用于气体行业、电光源行业,半导体行业,科研行业。高纯气体净化器在金属氧化方面发挥了中大作用,先后用于金属的加工,金属钽的制作,稀土金属的熔炼方面等,使这些金属的质量得到很大的改观,大大了产品的档次同时也增加了经济效益。
关键词:氩气净化机,氩气净化器,高纯氩气净化,高纯氩气净化设备,高纯氩气纯化设备,高纯氩气纯化装置,YAC系列氩气净化设备,全自动氩气纯化设备,大型氩气净化设备,硅材料行业用氩气净化设备,硅材料用除氧、除水氩气纯化装置,气站氩气净化设备,气站氩气纯化器,
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