切割研磨机芯片测试失效分析半导测
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切割研磨机芯片测试失效分析半导测 样品切割断面精细研磨及抛光去层研磨失效分析 主要应用在芯片工艺分析,失效点的查找及芯片剥层等方面的样片制备。该设备可以对样片进行冷埋注塑、切割、精细研磨及抛光


主要用途  样品切割、断面精细研磨及抛光

性能参数  1、切割机:  a)切割转速:100-975rpm;  b)锯片尺寸: 为178毫米,切割尺寸:38mm;  2、研磨机:  a)无级调速直流马达,恒定的转数和扭矩;  b)磨抛头可实现半自动磨抛;  c)应用磁性盘系统, 可方便快捷更换不同粒度砂纸/磨盘/抛光布;  d)磨盘直径:200mm或250mm;  e)磨盘转速:10-500 转/分钟;

应用范围  主要应用在芯片工艺分析,失效点的查找及芯片剥层等方面的样片制备。该设备可以对样片进行冷埋注塑、切割、精细研磨及抛光。

主要用途  样品切割、断面精细研磨及抛光

性能参数  1、切割机:  a)切割转速:100-975rpm;  b)锯片尺寸: 为178毫米,切割尺寸:38mm;  2、研磨机:  a)无级调速直流马达,恒定的转数和扭矩;  b)磨抛头可实现半自动磨抛;  c)应用磁性盘系统, 可方便快捷更换不同粒度砂纸/磨盘/抛光布;  d)磨盘直径:200mm或250mm;  e)磨盘转速:10-500 转/分钟;

应用范围  主要应用在芯片工艺分析,失效点的查找及芯片剥层等方面的样片制备。该设备可以对样片进行冷埋注塑、切割、精细研磨及抛光。