Park原子力显微镜
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图文详情
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产品属性
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Park原子力显微镜
Park Systems拥有世界上（纳米尺度）可供研究和工业应用的显微镜和测量工具产品线。我们的技术，如True-Non ContactTM模式和前沿的自动化让我们的产品从竞争中脱颖而出，成为容易使用和的原子力显微镜。
制造商简介
Park Systems长期致力于推进新兴的纳米显微镜和计量技术。
执行官兼人Sang-∥ Park博士是初的斯坦福大学原子力显微镜技术的开发团队的一员，该团队在1980年代早期开发了原子力显微镜技术，并为现今的技术发展铺平了道路。随着技术的不断进步，Park博士
敏锐地认识到原子力显微镜技术的大并在1997年创立了世界上个商业化原子力显微镜公司Park Scientific Instruments和随后的Park Systems，从而将这种而复杂的纳米成像和计量技术推向了更广阔的市场。2015年12月，Park Systems次公开上市招股，并加入KOSDAQ综合指数。
公司致力于将世界上的纳米测量和成像技术推向更加广阔的市场。如今，我们的产品被科技行业的者广泛使用，帮助他们科技，开发优异的产品，并产率。
技术
True Non-Contact模式原子力显微镜
Park原子力显微镜的True Non-ContactTM模式，该模式使得针尖保持尖锐并不破坏样品表面，为用户多次测量提供保障。这使得扫描更好、更准确，并减少了所需的维护。
启动True Non-ContactTM模式时，压电调制器使悬臂在一个接近其固有频率的频率上小振幅振动。当探针接近样品时，针尖和样品之间的范德华引力会影响悬臂振动的振幅和相位。Park原子力显微镜的Z-servo反馈系统会监测到这些变化，并使针尖和样品之间的距离保持在几纳米，从而保护样品表面或探针不被破坏。
优点
减少针尖磨损从而保持长时间的高分辨率
非破坏性针尖和样品的相互作用能够更好地保护样品
参数对成像结果影响较小
架构
Park原子力显微镜的一大特点就是采用铰链分离式XY和Z架构和快速Z扫描仪，从而提供无扭曲平面扫描，非接触式技术，拥有动态控制Z平台的力-距离分光镜，和世界上的可供3D测量的旋转头。
更高的线性度使扫描更加
许多因素例如蠕变、滞后、温度依赖性和老化都会影响扫描。为此，我们使用闭环电路控制的XY扫描仪，它可以检测扫描仪的实际位置并校正任何非线性行为，从而整体非线性度少于0.5%。
分离式无背景曲率XY和Z扫描仪可控制外平面运动
Park原子力显微镜的一大特点是采用分离式无背景曲率的XY和Z扫描仪，以降低外平面运动误差至每100微米小于2nm。
更好的响应性使用户可以观测到更多
相比压电管扫描仪，我们的XY扫描仪均有的驱动轴，可以为每个方向提供更好的响应性，使用户可以看到每一处细节。
Park SmartScan的1,2,3点击成像
在这个被复杂和设计欠缺的用户界面占据主导的行业，Park Systems自豪的出一套强大且易于操作的系统。我们的Park Systems操作系统，可以自动化许多研究人员和工程师的日常工作，显著实验室和工业环境的效率，从而使更多的高技术人员能够将他们的一些工作转移给经验较少的用户。
Park SmartScan自动化并通过每一步成像过程引导用户。用户将样品放置在样品台上，选择感兴趣的区域，并制定所想要的扫描尺寸。其余的工作可以通过点击各个按钮由软件完成。
系统将自动执行悬臂的频率扫描，移动Z平台至样品，并自动对焦到样品上供用户查看并选定感兴趣的成像区域。同时将调整相关参数并优化设置，悬臂定位样品，然后开始扫描。扫描过程中直到图像完成，都无需用户输入其他内容。
大的集成软件
Park Systems不断致力于我们的产品使科研和工业街的用户受益。我们新的集成软件将在纳米级显微镜和计量工具的准确度和效率上有显著的。
以下是我们技术的部分列表：
Pinpoint Nanomechanical针尖纳米机械的
QuickStep SCM快速SCM
One p EFM一键EFM
基于配方的自动扫描
自动缺陷检查
3D扫描
扫描离子电导显微镜与原子力显微镜
应用领域
Park Systems提供了一系列受欢迎的用于常规研究和工业应用原子力显微镜。我们的设计多样化，同时工作的高和多功能性，使研究人员和工程师能够快速轻松地获得的检测结果。
应用学科 | 应用领域 |
材料科学 | 失效分析 |
电子技术 | 半导测、磁介质检测 |
生命科学 | 细胞形态成像、纳米活检与 |
电化学 | 电化学反应成像 |
Park系列原子力显微镜范围内的研究所和企业。我们力求提供、便于操作的纳米显微镜来满足客户的需求。
产品型号和参数：
型号 | 特性 |
Park NX10 | 研究型的AFM |
Park NX20 | NX10针对大样品的改进版 |
Park XE7 | 经济型AFM |
Park XE15 | XE7针对大样品的改进版 |
Park NX10
世界上且易于使用的研究型原子力显微镜
在当今激烈的竞争中，研究人员考虑仪器。顺应市场需求，我们开发了ParkNX10，世界上且易于使用的原子力显微镜。
纳米尺寸的高
的Z扫描仪和低噪音Z探测器可提供更的读数
XY平台曲型底座可消除传统原子力显微镜中的弯曲效应
世界上真正的非接触式原子力显微镜，更长时间保持针尖的尖锐
成像，友好的用户界面，自动针尖靠近，和10次快速扫描设置
产品参数
扫描器
| XY扫描器
| Z扫描器
| |
闭环控制式单模块柔性X-Y扫描器 扫描范围：50μmX50μm（可 选10μmX10μm，100μmX100μm） 分辨率：0.05nm 定位检测噪音：<0.25nm（带宽：1kHz） 水平线性：<2nm（过40μm扫描）
| 柔性引导高力度扫描器 扫描范围：15μm（可选30微 米） 分辨率：0.015nm 定位检测噪音：0.03nm（波段宽 度：1kHz） 共振频率：>9kHz（通 常10.5kHz） 表面成像噪音：<0.03nm（通 常0.02nm） | ||
光学系统
| 物镜
| ||
可观察样品和探针的直视同轴光学系统 视场：480X360μm（在10X物镜下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 10x（0.21NA）长工作范围的镜 头（1μm分辨率） 20x（0.42NA）高分辨率长工作 范围镜头（0.6μm分辨率） | ||
电路系统 | 信号处理 | 集成功能 | 外部信号介入 |
ADC：18个通道 4ADC通道（64MSPS） X,Y和Z扫描器定位传感器的24bit ADCs DAC：12通道 2DAC信道（64MSPS） X,Y和Z扫描器定位的20bit DACs 数据大小：4096X4096像素 | 3通道数字锁相放大器 热噪声法标定弹性系数 数码Q控制 | 20个嵌入式信号输 入/输出端口 5个TTL输出：EOF, EOL, E OP, Modulation 和AC bias | |
选项/模式 | 标准成像 | 化学性能 | 介电/压电性能 |
真正的非接触模式 接触模式 间歇式（轻敲式）AFM 横向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探针的化学力 显微镜 电化学显微镜（EC-STM 和EC-AFM） | 静电力显微镜（EFM） 动态接触式静电力显 微镜（DC-EFM） 压电力显微镜（PFM） 高电压PFM | |
力测量 | 磁性能 | 光学性能 | |
力-距离（F-D）光谱 力-体积成像 | 磁力显微镜（MFM） 可调外加磁场MFM | 探针增强型拉曼光谱 （TERS） 时间分辨率的光电流 测绘（Tr-PCM） | |
电性能 | 机械性能 | 热性能 | |
导电AFM I-V谱线 扫描开尔文探针显微镜（SKPM/KPM） 高电压SKPM 扫描电容显微镜（SCM） 扫描电阻显微镜（SSRM） 扫描隧道显微镜（STM） 扫描隧道光谱（STS） 时间分辨的光电流测绘（Tr-PCM） | 力调制显微镜（FMM） 纳米压痕 纳米刻蚀 高电压纳米刻蚀 纳米操纵 压电力显微镜（PFM） | 扫描热感显微镜 | |
样品台 | 配件 | ||
样品尺寸：50mmX50mm，20mm厚 样品重量：500g XY台工作范围：20mmX20mm Z台工作范围：22mm 聚焦台工作范围：15mm | 电化学槽 控温动态液相槽 控温样品台 磁场发生器 | ||
软件 | Park SmartScan | NXI | |
系统控制和数据采集的软件 实时调整反馈参数 通过外部程序（选项）进行脚本级控制 | AFM数据分析软件 |
Park NX20
强大、多功能、便于操作且适用于大样品的杰子力显微镜
一般科学研究和工业研究人员像FA工程师等都希望取得的成果，仪器就不能出错。这就是为什么Park NX20作为世界上的大样本原子力显微镜受到世界各地的研究人员和FA人士的高度评价。
为研究人员和FA实验室提供准确的大样本原子力显微镜
介质和基底的表面粗糙度测量
缺陷成像和分析
高分辨率电子扫描模式
3D结构边墙测量
的原子力显微镜形貌和低噪声Z探测器
产品参数
扫描器 | XY扫描器 | Z扫描器 |
闭环控制式单模块柔性X-Y扫描器 扫描范围：100μmX100μm 50μmX50μm 10μmX10μm 20位位置控制和24位位置感应 | 柔性引导高力度扫描器 扫描范围：15μm 30μm 20位位置控制和24位位置感应 | |
光学系统 | 物镜 | |
可观察样品和探针的直视同轴光学系统 视场：840μmX630μm（在10X物镜下） CCD：5M像素
| 10x（0.21NA）长工作范围的镜头 20x（0.42NA）高分辨率长工作范围镜头 | |
电路系统 | 信号处理 | 集成功能 |
ADC：18个通道 4ADC通道（64MSPS） X,Y和Z扫描器定位传感器的24bit ADCs DAC：12通道 2DAC信道（64MSPS） X,Y和Z扫描器定位的20bit DACs 数据大小：4096X4096像素 | 3通道数字锁相放大器 热噪声法标定弹性系数 数码Q控制 | |
选项/模式 | 标准成像 | 电性能 |
真正的非接触模式 接触模式 间歇式（轻敲式）AFM 横向力模式（LFM） 相位成像 | 扫描电容显微镜（SCM） 导电AFM 静电力显微镜（EFM） 压电力显微镜（PFM） 扫描开尔文探针显微镜SKPM | |
通用性能 | ||
磁力显微镜（MFM） 扫描热显微镜（SThM） 力-距离（F-D）光谱 扫描隧道显微镜（STM） | 力调制显微镜（FMM） 纳米压痕 高电压纳米刻蚀 纳米刻蚀 纳米操纵 | |
可选 | ||
样品台 控温隔音罩 液体用探针 液体模块 温度控制台 外部偏置模块 信号接入模块 | ||
样品台 | 配件 | |
XY台工作范围：150mm（200mm可选） Z台工作范围：25mm 聚焦台工作范围：15mm 全轴精密编码器（可选） | 电化学槽 控温动态液相槽 控温样品台 磁场发生器 | |
样品尺寸 | ||
150mm（200mm可选） 保存晶片样品的真空槽 |
Park XE7
真正的低预算研究级原子力显微镜
无论考虑出事价格还是总成本，Park XE7无疑都是经济实惠的研究级原子力显微镜之一。适合那些需要一个强大的研究型原子力显微镜或教学工具但预算吃紧的用户。该仪器配备有park的招牌True Non-ContactTM模式，可以节省购买探针的花费。同时XE7易于升级，所以比起其他原子力显微镜，客户可以使用更长时间。
为预算紧张的研究提供高和多性能
消除串扰并提供更准确的XY扫描
无需软件后处理就可以得到的高度测量
样品测量选项多
的SPM模式
业内多的可选功能和升级选项
产品参数
扫描器 | XY扫描器 | Z扫描器 | |
闭环控制式单模块柔性X-Y扫描器 扫描范围： 10μmX10μm 50μmX50μm 100μmX100μm
| 柔性引导高力度扫描器 扫描范围：12μm 25μm
| ||
光学系统 | 样品尺寸 | ||
可观察样品和探针的直视同轴光学系统 10X物镜（可选20X） 视场：480X360μm（在10X物镜下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 样品尺寸：100mm 样品高度：20mm | ||
电路系统 | |||
DSP：600MHz with 4800MIPS 图像尺寸：4096X4096像素，16个数据图像 信号输入：在500KHz取样时，16位ADC的20个通道 信号输出：在500KHz取样时，16位ADC的21个通道 同步信号：图像结束，线结束及像素结束TTL信号 | 主动Q控制 悬臂梁弹性常数校准（选配） CE Compliant 电源：120W 信号处理模块（选配） | ||
选项/模式 | 标准成像 | 化学性能 | 介电/压电性能 |
真正的非接触模式 接触模式 间歇式（轻敲式）AFM 横向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探针的化学力显微镜 电化学显微镜（EC-STM 和EC-AFM） | 静电力显微镜（EFM） 动态接触式静电力 显微镜（DC-EFM） 压电力显微镜（PFM） 高电压PFM | |
力测量 | 磁性能 | 光学性能 | |
力-距离（F-D）光谱 力-体积成像 | 磁力显微镜（MFM） 可调外加磁场MFM | 探针增强型拉曼光谱 （TERS） 时间分辨率的光电流 测绘（Tr-PCM） | |
电性能 | 机械性能 | 热性能 | |
导电AFM I-V谱线 扫描开尔文探针显微镜（SKPM/KPM） 高电压SKPM 扫描电容显微镜（SCM） 扫描电阻显微镜（SSRM） 扫描隧道显微镜（STM） 扫描隧道光谱（STS） 时间分辨的光电流测绘（Tr-PCM） | 力调制显微镜（FMM） 纳米压痕 纳米刻蚀 高电压纳米刻蚀 纳米操纵 压电力显微镜（PFM） | 扫描热感显微镜 | |
样品台 | |||
XY台工作范围：13mmX13mm Z台工作范围：29.5mm 聚焦台工作范围：70mm | |||
软件 | XEP | XEI | |
系统控制和数据采集的软件 实时调整反馈参数 通过外部程序（选项）进行脚本级控制 | AFM数据分析软件 |
Park XE15
强大的多功能经济型大样本原子力显微镜
Park XE15包括许多的功能，使其需要用原子力显微镜处理大量不同种类样品的实验室和研究中心。其合理的价格和一系列强大的功能也是其成为性价比的原子力显微镜之一。
功能多样而强大，专为纳米研究和失效分析
的多样品扫描减少了停机时间
200mmX200mm的大样本尺寸提供了更多的可能性
具包容性的扫描模式组合可以适应任何需要
适合公共实验室和用户中心
扫描器 | XY扫描器 | Z扫描器 | |
闭环控制式单模块柔性X-Y扫描器 扫描范围： 100μmX100μm
| 引导高力度扫描器 扫描范围：12μm 25μm（可选）
| ||
光学系统 | 样品尺寸 | ||
可观察样品和探针的直视同轴光学系统 10X物镜（可选20X） 视场：480X360μm（在10X物镜下） CCD：1M像素（像素分辨率：0.4μm）
| 样品尺寸：200mm 样品高度：20mm | ||
电路系统 | |||
DSP：600MHz with 4800MIPS 图像尺寸：4096X4096像素，16个数据图像 信号输入：在500KHz取样时，16位ADC的20个通道 信号输出：在500KHz取样时，16位ADC的21个通道 同步信号：图像结束，线结束及像素结束TTL信号 | 主动Q控制（选配） 悬臂梁弹性常数校准（选配） CE Compliant 电源：120W 信号处理模块（选配） | ||
选项/模式 | 标准成像 | 化学性能 | 介电/压电性能 |
真正的非接触模式 接触模式 间歇式（轻敲式）AFM 横向力模式（LFM） 相位成像 | 功能化探针的化学力显微镜 电化学显微镜（EC-STM 和EC-AFM） | 静电力显微镜（EFM） 动态接触式静电力 显微镜（DC-EFM） 压电力显微镜（PFM） 高电压PFM | |
力测量 | 磁性能 | 光学性能 | |
力-距离（F-D）光谱 力-体积成像 | 磁力显微镜（MFM）
| 探针增强型拉曼光谱 （TERS） 时间分辨率的光电流 测绘（Tr-PCM） | |
电性能 | 机械性能 | 热性能 | |
导电AFM I-V谱线 扫描开尔文探针显微镜（SKPM/KPM） 高电压SKPM 扫描电容显微镜（SCM） 扫描电阻显微镜（SSRM） 扫描隧道显微镜（STM） 扫描隧道光谱（STS） 时间分辨的光电流测绘（Tr-PCM） | 力调制显微镜（FMM） 纳米压痕 纳米刻蚀 高电压纳米刻蚀 纳米操纵 压电力显微镜（PFM） | 扫描热感显微镜 | |
附件 | 电化学模块 普通温控液体模块 样品温控台 磁场发生器 | ||
样品台 | |||
XY台工作范围：150mmX150mm Z台工作范围：27.5mm 聚焦台工作范围：20mm，全自动的 可重复XY定位的精密编码器（选配） | |||
软件 | XEP | XEI | |
系统控制和数据采集的软件 实时调整反馈参数 通过外部程序（选项）进行脚本级控制 | AFM数据分析软件（可在Windows，MacOS，和Linux） |