全自动鼻轮设计、软件控制

3A (3 Automatic) 特点设计

鼻轮自动变倍

镜头自动对焦

光源自动控制

采用 ARCS 精密光学尺，分辨率为 0.1μm

线性 X、Y 轴 < 1μm (1+L/200) μm)

 重复 <1 μm

 搭配 SI-901几何影像量测软件

1. 晶圆焊线(Die Bonding)确认

(a) 基底高度量测

(b) 蛋白高量测

(c) 蛋白 X轴、Y轴距离量测

(d) 线弧高量测