仪器参数

测
量
范
围
（mm）

X

300

400

Y

200

300

Z

150

150

工
作
台
（mm）

硬铝合金台面

460*360

610*480

玻璃台面

354*254

459*359

承重

30kg

30kg

影
像
及
测
量
系
统

测量速度

MAX:200mm/s

CCD

美国TEO高分辨率彩色摄像机600TV线

变焦物镜

手动变倍卡位镜头0.7－4.5X(选配同轴光)

视频放大倍率

30－180X（显示器19寸）

工作距离

82mm

显示分辨率

0.0001 mm

运动控制系统            全闭环控制：直流伺服系统

重复性

2um

测量(μm)

XY轴≦(2.8+L/200)um,  Z轴(光学测量）≦(5+L/200)um

外形尺寸（mm)

710*560*1700

950*750*1700

仪器重量(kg)

290kg

320kg

照明

可程控四环八区LED表面光及直轴轮廓光

电源

220V±10%(AC) 50HZ  电流大于10A