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Joule Yacht 薄膜热电参数测试 MRS
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薄膜热电参数测试系统产品特点


专门针对薄膜材料的Seebeck系数和电阻率测量。

测试环境温度范围81K~700K。

采用动态法测量Seebeck系数，避免了静态测量在温差测量上的系统误差，测量更准确。

采用四线法测量电阻率。

热电偶探针经过严格的筛选配对测试结果的准确和稳定。

软件操作简单，智能化可实现全自动模式。

 


薄膜热电参数测试系统技术参数


型号

MRS-3

MRS-3RT

环境温度

81K~700K

RT

温控方式

PID程序控制

\

真空度

≤ 1Pa

\

测试气氛

真空

 空气

测量范围

泽贝克系数：S ≥ 8μV/K； 电阻率：0.1μΩ?m ~ 1000KμΩ?m

分辨率

泽贝克系数：0.05μV/K； 电阻率：0.05μΩ?m

相对误差

泽贝克系数 ≤ 7%，电阻率 ≤ 5%

测量模式

自动

样品尺寸

长 x 宽:(10~18)x(4~14)mm2,薄膜厚度≥50nm

主机尺寸

采集箱：470x400x140，单位mm
变温装置：直径x高 460x800mm

170x250x220，单位mm

重量

31.9kg

3.5kg



薄膜热电参数测试系统样品要求

样品满足上述样品尺寸，待测面需平整，薄膜均匀性好，与铜片接触良好

薄膜材料厚度低可至100nm，其均匀性有较高要求，薄膜厚度别较好

薄膜材料的衬底需选择电阻率较大或缘材料为宜，如玻璃、Si等材料


薄膜热电参数测试系统技术原理

　　动态法：测量Seebeck系数

　　在待测温场下给样品两端加一个连续变化的微小温差，通过记录样品两端温差和热电势的变化，然后将温差和热电势拟合成一条直线，直线斜率即为该材料在该温场下的Seebeck系数。

　　采用四线法测量电阻率。


 

薄膜热电参数测试系统测试实例

标准镍带测试结果



东华大学MoS2测试结果




MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果（电工研究所提供样品）





MRS-3对Bi2Te3薄膜测试结果（电工研究所提供样品）