EDWARDS　爱德华EH系列罗茨真空泵

EH/Q系列

EH250、EH500、EH1200、EH2600、EH4200、Q250、Q500、Q1200、Q2600、Q4200

概述：

EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础，仍是受欢迎的泵，可用于压力范围为 0.01 至 10 ar、需要高抽速的应用场合。此泵须由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。

机械增压泵在相对较低的压力下工作，不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下，因此高度。

爆型机械增压泵可能配备爆型电机，或作为爆型系统的一部分供货。

应用

半导体制程

真空蒸馏

真装

钢脱气

薄膜覆层

真空冶金

低密度风洞

空间模拟

真空浸渍

油干燥和脱气

制药冷冻干燥

CO2 激光

功能和优势

适用于在 0.01 至 50 ar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要过 3000 m3h-1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。

它可在相对较低的压力环境下表现出更高的性。

EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供：

安静的无振动运行。

牢靠且腐蚀。

的轴封技术，处理舱中不会出现油污染

腐型泵送机械装置采用铸铁制造。

经验证的轴封布置可没有油进入泵送定子，并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门，因此可将维护要求降到。

轴封的设计经过优化，可润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外，这可在公差严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。

动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小，而这些特点正是技术设备的制造商所需要的。

容积（工作容积）

50Hz 1195 m3h-1/715 ft3min-1

60Hz 1435 m3h-1/845 ft3min-1

使用后备泵时的抽取速度

E2M80 840 m3h-1/495 ft3min-1

E2M175 930 m3h-1/548 ft3min-1

E2M275 1020 m3h-1/601 ft3min-1

泵的压差 ?

50Hz 0-90 ar/0-68 Torr

60Hz 0-75 ar/0-56 Torr

入口连接 ISO160

出口连接 ISO100

转速

50Hz 0-2900 rpm

60Hz 0-3500 rpm

连续入口操作压力 0-1000 ar/0-760 Torr

出口压力 1000 ar/760 Torr

推荐的后备泵 GXS160，GXS250，E2M80，E2M175

电源供给

50Hz 220-240V/380-415V

60Hz 230V/460V

马达功率

碳氢化合物 3kW/4hp

PFPE 3kW/4hp

ATEX 3kW

爆型 4hp

环境温度范围

操作 5 至 40°C/40 至 104°F

存储 -10 至 80°C/14 至 176°F

操作湿度 90% RH

推荐的冷却水流量（入口温度 20°C） 120 l h-1/0.53 gal min-1

推荐的冷却水供应压力* 2-6 bar

冷却水接头 3/8 英寸 BSP 阳螺纹

推荐用油

标准型 Ultragrade 20

PFPE 版本 Folin? YVAC 16/6

油容量

齿轮箱 1.25 升

联结器箱 2.4 升

轴杆封口储油器 0.125 升

重量 149 kg