数字式气体质量流量控制器 CS200C 七星华创流量计有限公司±0.2% FS
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产品型号CS200C
产品类型高型,快响应型,全金属密封型,数字型,抗电磁干扰
流量量程2sccm,3sccm,5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品±0.35%F.S.(<35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复±0.2% FS
线性±0.5% F.S.
响应时间≤0.8sec
工作温度范围(0~50)°C
耐压3MPa
密封材料金属密封 Metal
输入输出信号(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型常开或常闭
温度系数Span: ≤±0.05% F.S./℃,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零点飘移指标<0.6%F.S. per year without autozero
电气连接Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围(0.05~0.35) MPa (F.S.≤10slm),(0.1~0.35)MPa(10slm≤F.S.≤30slm)
漏率1×10-10atm?cc / sec He(1×10-11 Pa?m3 / sec He)
标准接头形式双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),VCR1/4”,IGS W型,IGS C型
表面化学成分CrO thickness >20 Angstroms
表面粗糙度10μinch
抗电磁干扰CE
重量1.2Kg