气体质量流量控制器 D07-60B 七星华创流量计有限公司300slm,500slm,750slm
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产品属性
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★高、重复性好、快响应型 、超大流量型
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| 产品型号 | D07-60B |
|---|---|
| 产品类型 | 大流量型 |
| 流量量程 | 300slm,500slm,750slm,1000slm,1500slm,2000slm |
| 产品 | ±2％F.S. |
| 重复 | ±0.2% FS |
| 线性 | ±1％F.S. |
| 响应时间 | ≤10sec |
| 工作温度范围 | (5~45)°C |
| 耐压 | 3MPa |
| 密封材料 | 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
| 输入输出信号 | (0~5)VDC |
| 电源 | ±15V |
| 阀类型 | 常闭 |
| 温度系数 | - 无 - |
| 零点飘移指标 | - 无 - |
| 电气连接 | D sub 15 pins Male |
| 工作压差范围 | (0.25～0.5) MPa （F.S.≤1000slm） |
| 漏率 | 1×10-8atm?cc / sec He（1×10-9 Pa?m3 / sec He） |
| 标准接头形式 | |
| 表面化学成分 | - 无 - |
| 表面粗糙度 | - 无 - |
| 抗电磁干扰 | - 无 - |
| 重量 | 6Kg |