纳米定位台

纳米定位台是以压电陶瓷作为驱动源，结合柔性铰链机构实现X轴、Y轴、XY轴、XYZ轴精密运动的平台，驱动形式包括压电陶瓷直驱式与机构放大式两种，运动范围可达110μm, 具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高传感器，可以实现纳米级分辨率、定位具有高的性，压电平移台在精密定位领域中发挥着的作用。

P66.XYZ压电纳米定位台为压电陶瓷直驱机构压电平台，采用柔性铰链结构设计具有无摩擦、无、响应速度快等特点，运动行程110μm，分辨率可达0.1nm，定位实现纳米级，可通过自由组合成二维、三维压电纳米定位台。

特点：

柔性铰链结构设计，无摩擦无

行程110μm

开环与闭环版本可选

FEA有限元分析优化产品性能

可组合成二维、三维纳米定位台

应用：

光纤拉伸/端面检测/对接  硬盘测试  电化学加工 3D锡膏检测  精密定位 显微成像