A. 技术参数

1. 分辨率： 15nm (30kV, SE Image)

         20nm (30kV, BSE Image)

1. 放大倍率：30x~60,000x (有效放大倍率30,000x)

2. 加速电压 :

5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)

3. 图像：

二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSEI)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SEI+BSEI)

4. Observation mode : Standard Mode

Charge-up reduction mode

5. 电子枪系统:

灯丝类型：预对中钨灯丝

偏压系统：自动偏压方式

   电子枪校正：手动方式

6. 透镜构成

i. 聚光镜 : 2段式磁线圈透镜

ii. 物镜 : 1段式磁线圈透镜

7. 探测器类型

E-T Detector

8. 载物台系统：3轴操控

- X, Y-axis : 20mm / R-axis : 360°

9. Image shift: X, Y Image Shift (100?)

10. 样品尺寸 :

50mm in diameter, 20mm in height

11. 图像扫描速度

1. 快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

2. 低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)

3. 图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)

4. 图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

12. 自动功能

自动启动，自动聚焦，自动亮度对比度调节

13. 图像存储方式

   BMP, JPEG, PNG

14. 数据显示

   放大倍率，探测器类型，电压，真空模式，文本，标尺等

15. 真空系统

   全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)

-（旋转式机械泵）Rotary Pump/100Liters/min

-（涡轮式分子泵）Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec

抽真空时间：2分钟以内

16. 操控系统：鼠标和键盘

17. 运行系统：电镜专用笔记本电脑

-OS : Microsoft Window 7

-CPU : Intel Core^TM i5 or High version

-Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version

18. 软件：

-图像文件打开，编辑，存储功能

   -长度，面积，角度等测量功能

   -设置数值初始化，图像拍摄模式转换，Archives, Setting(EDS)模式等

19. 体积：

   设备主机-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set

外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set

20. 重量：90kg

21. 设备环境：

-温度：15℃~30℃

-湿度：70% or less

-电源：Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz

B. 配件

1. 预对中钨灯丝  : (5 pcs/box)

2. 载物台 

i.  15mm dia. (10 pcs)

ii. 25mm dia. (10 pcs)

iii. 15mm 45° Tilt (5 pcs)

iv. 15mm 90° Tilt (5pcs)

3. 真空润滑油  1ea

4. 高度基准模块  1ea

5. 6角扳手  1set

6. 扫描电镜软件修复用CD  1ea

7. 银胶(Silver Paste) 30g  1ea

8. 碳导电胶带  1roll

9. 剪刀  1ea

10. 洗耳球 1ea

11. 镊子  1ea

     12. 工具箱  1ea