半导体材料气体 XP-703D 日本新宇宙厂家
价格:电议
地区:北京市
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* 适合于检测半导体特气的微量泄漏
* 采用声光报警

型号XP-703D
检测对象气体半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理热线型半导体式
采样方式自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm)
砷烷  磷烷  乙硼烷  硅烷  氢气 
AsH3   PH3   B2H6   SiH4  H2 
0.2   0.3   0.1   0.5  1.0
检测表示蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度10秒以内