压电显微镜扫描台 压电纳米定位 压电扫描台 中国制造商 研生 技术

Z向纳米级 压电显微扫描台 压电显微镜扫描台 压电纳米定位台 压电扫描台 ║P28系列

行程：Z500μm

P28系列是采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级压电显微扫描台，压电显微镜扫描台内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，压电扫描台采用有限元分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有的导向，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电纳米定位台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，了压电扫描台具有的运动控制，定位、分辨率和稳定性可以纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。中空式设计，且通孔较大，专为安放载玻片或样品皿设计，可更好的集成于显微及扫描系统中。通过优化设计，更好的匹配主流制造商设计的产品。

产品特点：

◆ 的外形尺寸，的中空尺寸；

◆ 采用无摩擦、无回差的柔性铰链导向系统，具有的导向；

◆ 内置的压电陶瓷，高性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

显微镜/显微扫描、跟踪　　三维成像　　高分辨率显微镜　　共聚焦显微镜　　生物技术　　纳米定位　　干涉　　计量  

       辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高微位移测量系统等几十个系列产品。

       研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位、分辨率和稳定性可以纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级，主要技术指标已国际水平，可地替代产品。

       研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、精密加工、自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、设备、特种精密加工等的装备制造商。