压电平台 纳米定位 压电纳米定位 制造商-研生

二维纳米级精密 压电平移台 压电平台 压电陶瓷平台 压电纳米定位台 ║P15系列

行程：XY2000μm

P15系列是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密压电纳米定位台，压电陶瓷平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，压电平台采用有限元分析优化柔性铰链结构，复合式的柔性导向系统具有的导向、消除侧向运动分量，同时具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。行程2000μm，压电平移台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，了压电平台具有的运动控制，定位、分辨率和稳定性可以纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。压电陶瓷平台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。

产品特点：

◆ 采用无摩擦高柔性铰链导向系统，消除侧向运动分量；

◆ 内置的压电陶瓷，高性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

显微光学　　半导体测试　　干涉测量　　纳米定位　　生物技术　　微加工　　微操作

       辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高微位移测量系统等几十个系列产品。

       研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位、分辨率和稳定性可以纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级，主要技术指标已国际水平，可地替代产品。

       研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、精密加工、自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、设备、特种精密加工等的装备制造商。