压电偏转镜 压电偏摆镜 压电扫描器 行程120mrad,研生 中国制造 技术

二维纳米级光束 压电偏转镜 ║P35系列

P35系列是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密光束压电偏摆镜，压电偏摆镜内部使用无回差柔性铰链并联导向结构，压电偏转镜采用有限元分析优化柔性铰链结构，紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有的导向，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，偏转角设计，偏转范围达120mrad，摆镜内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，了压电扫描器具有的运动控制，定位、分辨率和稳定性可以纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。紧凑型设计，可更好的集成于光学系统中。可根据用户需求定制安装及出线方式。

产品特点：

◆ 紧凑的外形尺寸，结构紧凑，易于集成；

◆ 摆角；

◆ 采用无摩擦、无回差紧凑的差分式并联结构柔性导向系统，具有的导向；

◆ 内置的压电陶瓷，高性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择，可提供定制安装及出线方式。

产品应用：

图像处理/稳定　　隔行扫描，抖动　　激光扫描　　光束偏摆/稳定　　激光通信　　光过滤/转换　　纳米定位

       辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高微位移测量系统等几十个系列产品。

       研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位、分辨率和稳定性可以纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级，主要技术指标已国际水平，可地替代产品。

       研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、精密加工、自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、设备、特种精密加工等的装备制造商。