压电定位台 压电纳米定位台 制造商-研生

三至六维纳米级精密定位 压电平移台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台 ║P68系列

P68系列是采用压电陶瓷驱动的三至六维并联式纳米级精密压电纳米定位定位台，压电定位台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，压电定位台采用有限元分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有的导向，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电平移台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，了压电扫描台具有的运动控制，定位、分辨率和稳定性可以纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级。压电平移台内部采用并联式结构设计 ， 结构紧凑，促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。

产品特点:

◆ 的中空尺寸；

◆ 采用无摩擦、无空回柔性铰链并联导向系统，具有的导向；

◆ 内置的压电陶瓷，高性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

扫描显微镜（SPM）　　干涉　　计量　　掩模/晶圆定位　　度量衡学　　生物技术　　显微光学　　激光技术　　微操作

       辽宁研生科技有限公司自主研发的产品涵盖压电陶瓷元件、叠堆压电陶瓷、封装型压电陶瓷/促动器、压电纳米定位台/扫描台、压电平移台/升降台/偏摆台/旋转台、压电光束偏转镜、压电显微扫描平台、压电物镜聚焦/扫描器、压电红外微扫描器、压电微操作钳、压电微分头、压电马达/电机、压电螺旋促动器、压电点胶阀、压电机床微进给平台、六轴并联微位移定位系统、高位移传感器、压电陶瓷驱动/控制器、高微位移测量系统等几十个系列产品。

       研生科技的纳米级精密定位产品类型丰富，运动自由度从一维至六维[X,Y,Z,θX, θY,θZ]，运动行程从几微米至几千微米，承载能力从几百克至几百千克，推/拉力从几牛顿至几千牛顿，具有多种结构类型如叠堆式结构、嵌套式结构以及性能更优异的并联式结构等，定位、分辨率和稳定性可以纳米量级，定位稳定时间为毫秒量级，主要技术指标已国际水平，可地替代产品。

       研生科技的产品和技术主要应用于前沿领域科学研究、半导体制造与检测、生物显微成像、精密光学系统、光电子对准与封装、光学跟踪与扫描、精密加工、自动化等领域。广泛服务于各高校、科研院所以及各类制造光学显微检测设备、激光加工设备、半导体IC设备、测量/检测仪器、光电设备、光学仪器、设备、特种精密加工等的装备制造商。