engis化合物材料抛光设备InP GaAs 背面抛光
价格:电议
地区:上海市
电 话:02158210030
手 机:15300099033
传 真:02158600110


单面抛光设备: 

设备的设计理念及特征 
本设备是搭载φ300mm(12英寸)定盘的高、率的抛光机。任何人通过配置在设 
备后部的台式定盘修正机都可以容易的实现定盘平面度数μm以内的修正,从而实现 
高抛光加工。 
主要规格: 
设备型号EJ-380INWS 
定盘直径外径φ380mm×内径φ140mm(标准尺寸) 
水冷部位密闭型冷却水循环式(内循环分离式) 
主电机0.4Kw 
定盘转速10~150rpm 付低速开始/低速停止功能 
加工轴数量2轴 
修正圈外径φ178mm×内径φ140mm(ACR-102S) 
加压方式自重加压 
《装置》紧急停止按钮设备正面1个φ30mm 按压锁定重置式 
《设备概要》 
尺寸705mm×750mm×680mmH*含尘盖高度 
重量100Kg(NET)