engis化合物材料抛光设备InP GaAs 背面抛光
价格:电议
地区:上海市
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手 机:15300099033
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图文详情
产品属性
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单面抛光设备:
设备的设计理念及特征
本设备是搭载φ300mm(12英寸)定盘的高、率的抛光机。任何人通过配置在设
备后部的台式定盘修正机都可以容易的实现定盘平面度数μm以内的修正,从而实现
高抛光加工。
主要规格:
设备型号EJ-380INWS
定盘直径外径φ380mm×内径φ140mm(标准尺寸)
水冷部位密闭型冷却水循环式(内循环分离式)
主电机0.4Kw
定盘转速10~150rpm 付低速开始/低速停止功能
加工轴数量2轴
修正圈外径φ178mm×内径φ140mm(ACR-102S)
加压方式自重加压
《装置》紧急停止按钮设备正面1个φ30mm 按压锁定重置式
《设备概要》
尺寸705mm×750mm×680mmH*含尘盖高度
重量100Kg(NET)