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测试项 pull test
push test 破坏/非破坏/承重保持
shear test
peel test
测试速度 pull test
push test 0.001~5mm/sec(0.06~300mm/min)
peel test
shear test 0.001~10mm/sec(0.06~600mm/min)
平台移动范围 X轴 ±50mm
Y轴
Z轴 70mm MAX
工作台旋转 360度
传感器旋转 ±170度
测试荷重范围 pull test 20kg MAX
push test 5kg MAX
peel test
shear test 100kg MAX
测试荷重 ±0.2%FS
测试时间分解能 0.001SEC
输出单位 9f/N
自动归零功能 Z轴 测试开始
X-Y轴 任意
平台移动功能 Z 0.001~5mm/sec
X-Y 0.01~10mm/sec
定位功能 基板面检出方法 荷重传感器接触力检出方式
基板面检出范围 0.1~10%FS
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