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德国EdgeWave公司创建于2001年, 是高端激光器产品的供应商。EdgeWave是世界技术InnoSlab技术的先驱和当今世界这个新激光技术领域的者。InnoSlab 激光凭借其量、高脉冲频率、高光束质量和它的杰出特征—高度灵以及优化定制光束分布, 已经成为现代激光器中效的加工手段。它能帮助使用者完善现有的加工工艺以及不断地开拓新的生产领域和新加工方法。
InnoSlab短脉冲和短脉冲激光器标准产品包括以下各种电光调Q的InnoSlab激光器,使用不同的激活介质, 具有不同的脉冲能量、输出功率和波长:
· 光束质量: M2 < 2
· 脉冲能量可 60mJ
· 脉宽可 4ns以下
· 峰值功率可 7MW
· 脉冲重复频率可到 150 kHz
· 平均功率可达 600W
· 波长 1064、 532、 355、266nm
InnoSlab激光器和放大器的一个与众不同的杰出特性在于其光束形状可量身定制: 从圆形高斯模式到一维线状平顶以及两维方形平顶等等。
纳秒激光器应用领域:
· 光伏行业,例如硅晶园的划片、打孔和切割;薄膜太阳能电池和晶硅太阳能电池导电层和缘层的烧蚀
· 显示领域,如导电层的织构化和玻璃切割
· 玻璃工业,如微钻孔和亚表面内雕
· 电子工业,例如对印刷电路板的切割和钻孔
· 工具制造和机械工程,如三维烧蚀快速成形
面板切割 微结构加工 航空材料加工
纳秒激光器技术参数
型号 | BXxx-1 | BXxx-2 | BXxx-3 | BXxx-4 | ISxx-1 | ISxx-2 | ISxx-3 | ISxx-4 |
波长(nm) | IR | Green | UV | DUV | IR | Green | UV | DUV |
光束质量M2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 | 1.1 | 1.1 | 1.6 | 2 |
平均功率(W) | 80 | 40 | 12 | 6 | 400 | 200 | 70 | 20 |
重频频率(KHz) | 100 | 100 | 10 | 10 | 150 | 150 | 15 | 15 |
单脉冲能量(mJ) | 7 | 3 | 1.5 | 1 | 60 | 30 | 15 | 4 |
小脉宽(ns) | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
能量稳定性(%)rms | 1 | 2 | 3 | 3 | 1 | 2 | 3 | 4 |
偏振比 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 | >100:1 |
光斑椭圆度(远场)[%] | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 | <10 |
光斑直径(mm) | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
发散角(全角,μrad) | 500 | 250 | 241 | 226 | 500 | 250 | 250 | 225 |
预热时间(min) | 15 | 20 | 30 | 30 | 15 | 20 | 30 | 30 |