ICP光谱分析仪主要特点：
检出限低：亚ppt级 
精密度好：RSD≤2％ 
分析速度快 
动态线性范围宽（工作曲线线性范围5－6个数量级） 
多元素同时测定

高频箱
本装置采用电感反馈自激式振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，采用功率反馈进行闭环自动控制（获得国家发明），使等离子体火焰极为稳定，该发生器可使用工业氩气工作哦，不但点燃ICP火焰容易，同时还节省采用高纯氩气的昂贵费用。

ICP光谱分析仪匹配箱
由真空陶瓷可调电容及空气可调电容等组成的性能优良的匹配箱，使之达到的匹配状态，在负载线圈上获得的有效输出功率。

定向耦合器
功率控制是采用从定向耦合器取出功率信号经检波放大后，控制振荡电子管的阳极电压，达到功率输出稳定的目的。
优良的进样系统
同轴型雾化器、双筒及旋流的雾室、高盐与传统型的矩管，自由优化组合适应各种样品测定的进样要求。同时，此进样装置清洗容易，更换、安装方便。

 高性能、高分辨率、高灵敏度分光装置

分光器
本分光器为水平非对称式光路设计，缩小了分光器主体的宽度，减少杂散光的干扰。采用长焦距、大面积光栅，增大分光器的相对孔径，提高了灵敏度。同时选用特殊的金属材料，精细研磨成的固定型狭缝，保障了测量的。 
精密、稳定的光栅驱动装置采用性能可靠外国进口步进电机，精密机械传动装置，使其系统传动的稳定性、重复性好。小模数的蜗轮蜗杆直接驱动光栅转动，保证转动高，积累误差小。同时采用分光器恒温装置：32℃±1℃使之稳定性都达到状态。

精密的控制电路与电子测量系统
精密的控制电路与电子测量系统，它包括：通讯接口系统、光电倍增管高压电源与控制、步进电机控制及信号采集四项功能，采用新型高灵敏度、宽光谱范围的光电倍增管、光电转换器件，信号采集为V/F转换，使之测量样品含量范围宽、灵敏度高、稳定性好。

ICP光谱分析仪技术指标
射频发生器
1. 电路类型：电感反馈式自激振荡电路，同轴电缆输出，匹配调谐，功率反馈闭环自动控制。 
2. 工作频率：40MHz±0.05％ 
3. 频率稳定性：＜0.1% 
4. 输出功率：800W—1200W 
5. 输出功率稳定性：＜0.3% 
6. 电磁场泄漏辐射强度：距机箱30cm处电场强度E：＜2V/m

进样装置
输出工作线圈内径25mm，3匝 
矩管：三同心型，外径20mm的石英矩管 
同轴型喷雾器外径6mm 
双筒形雾室外径34mm 
氩气流量计规格和载气压力表规格：
等离子气流量计（100-1000）L/h （1.6-16L/min） 
ICP光谱分析仪辅助气流量计（10-100）L/h （0.16-1.66L/min） 
载气流量计（10-100）L/h （0.16-1.66L/min）
载气稳压阀（0-0.4MPa）
冷却水：水温：15-25℃ 流量>5L/min 
水压>0.1MPa 冷却水：电阻率>1MΩ

分光器
1． 光路： Czerny-Turner mounting
2． 焦距： 1000 mm 
3． 光栅规格： 离子刻蚀全息光栅， 
刻线密度3600线/mm， 
刻线面积（80×110） mm 
（可选用刻线密度2400线/mm，刻线面积：80×110mm 
4． 线色散率倒数：0.26nm/mm 
5．分辨率： ≤ 0.008nm 
6. 扫描波长范围： 
7． 步进电机驱动小步距: 0.0006 nm 
8． 出射、入射狭缝：20μm 
 反射镜规格： （78×105×16）mm 
10． 透镜φ30，1：1成像 
11． 分光器恒温装置：32℃±1℃

光电转换装置
1. 光电倍增管规格：R212UH或R928 
2. 光电倍增管负高压：200-1000V 稳定性<0.05％ 
3. 光电倍增管电流测量范围：1nA~100μA
4. 信号采集为v/F交换：1mV对应100Hz