LAwave薄膜杨氏模量无损测量设备，技术源于德国Fraunhofer IWS研究所。利用激光脉冲在薄膜或材料表面激发起表面声波，表面声波在不同材料中的传播速度不同，可以通过检测表面声波的波速实现对薄膜或者材料硬度（杨氏模量/弹性模量）、密度和膜厚的测量。

LAwave薄膜杨氏模量无损测量设备

表面声波波速的色散关系由薄膜与衬底的弹性模量（杨氏模量）、密度和厚度决定。将声波探测器探测声波波速的色散关系与理论模型计算的色散关系对比，就可以得出薄膜的杨氏模量、密度和厚度等信息。LAwave也可以测量表面有微结构的薄膜和非均匀结构薄膜。

测量原理示意图

主要特性：

• 无损测量薄膜的厚度可以从几纳米到几百微米

• 检测材料范围广，从聚合物到金刚石

• 操作简单方便，测量速度快

• 小检测面积：5x5mm

• 可测量多孔薄膜，表面有微纳结构的薄膜

• 国际测量结果

主要应用领域：

• 超薄超硬薄膜--防护评估

• 多孔聚合物薄膜--杨氏模量、密度优化

• 热喷涂涂层--空隙形态评估

• 半导体、LED、光伏产业晶圆片--亚表面损伤探测