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电镜应用环境改善方案!
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Unicorn α200系列低频消磁系统(EMI Canceling System,又称消磁器), 是我公司在 SL 2012 系列 基础上研发的新一代产品, 采用高纯直流测量/反馈 /控制电路, 适用于改善 300Hz 以 下的低频电磁干扰环境。 本特别适用于各种电子显微镜、光刻机的改善环境磁场,消除低频电磁干扰。
系统特点
●针对 50Hz 工频磁场有大约 38dB 的衰减率。
●测量及显示部分由单片机控制, 直接检测及显示短时峰峰值(即 p-p 值, 间隔约为 2 秒)。
●关键部件(如电源变压器、稳压电路、功率 PID 等)均依照深度冗余原则标准 设计,确保系统可以无长时间连续工作。
●为保证快速响应,全部闭环检测/控制回路均为纯直流模块构成。
●组合一体化三轴磁场探测器即可捆扎固定在直径 10~300 毫米的垂直管状体 上,又可以直立放置在任何不易跌落的平面上。
●由 3/6 个平面消磁线圈构成均衡三维反相消磁空间(为获得的场强均匀 度, 应使得线圈包围空间尽量大,一般约为 60~200m
实际消磁效果对比( 200kx)
消磁前 消磁后
技术参数指标
磁场强度: 0.05mGauss p-p
消磁性能: 1~4mGauss p-p 时 0.05~0.20mGauss p-p
4~8mGauss p-p 时 0.20~0.60mGauss p-p
8~12mGauss p-p 时 0.6~1.1mGauss p-p
( 以上均为靠近探测器处数据)
有效工作距离:大于 6 米
场强均衡性:大于 4.5 米
系统能耗:一般工况小于 8W,不超过 20W( 单相 220V)
消磁线圈: 14 芯三线圈或六线圈,标准长度分别为 14m、 16m、 18m,
控制器重量: 4kg
探测器重量: 0.7 kg
消磁线圈重量: 3.5kg(标准三线圈)或 7 kg(标准六线圈)
制造商
全新