真空手套箱露点仪

目前半导体、精密电子等企业采用的除湿干燥方式总体分为两种：一种是整体除湿、一种是针对手套箱的除湿!

　　整体除湿方案是面向整个生产区域各个环节都进行湿度的控制，根据不同工位的要求配比输送不同干燥程度的干燥气，进而选取不同的除湿干燥设备。仓储和车间一般都选用冷冻除湿机就可满足要求，手套箱选用转轮除湿机或更低露点的组合除湿干燥机。整体除湿能根据不同要求对生产各个环节的湿度进行控制，是比较全面稳定的除湿方案，能在程度上保证工艺要求，保证产品质量!但整体除湿系统庞大、前期投入较大，小型企业投资有难度!

　　小型电子企业一般都会选择针对真空手套箱的除湿方式，一般都采用外购高纯气体吹扫手套箱，保证箱体露点!这种方式设备单一，工艺简单，投资小。但其它环节的湿度控制得不到保证!

真空手套箱露点仪技术参数

测量范围                      Td          -100……+20℃（可选）

露点                      Td                 ≤ ±2℃

输出　　　　　　　　　　　　　4～20MA    (-100……+20℃)

供电方式                        220V AC  5A

探头保护                               聚四氟乙烯材料

储存温度等级                               -40……+70℃

响应时间      气体温度：20℃  流速：4-5L/min 压力:1bar

+20→-40℃                     Td          5s~45s

-40→-60℃                      Td         10s~240s

操作环境                                   - 10……+70℃

相对湿度                                   0…90%RH

压    力                                   0.1……30MPA（可选）