石英玻璃真空观察窗(Viewports)技术参数：
漏率: <2x10(-10) atm cc/sec 氦气

平行度: <10 Arc Minutes

法兰材料: 304/316 不锈钢

平面度: l/4 @ 632nm Transmitted  Wavefront

表面抛光度：20/10

热量范围: -100?C- 200?C

材料: Corning ARF 193 Fused Silica

传感:≥99.5% @ 193nm (内部)

均匀等级: A

杂质等级: 0

观察窗，熔融石英，超紫外(EUV)，窗体2.7，CF450

准分子级石英窗体，烘烤温度达200摄氏度，无磁性材料，高真空中的传输范围可达193纳米，零长度型，超高真空适用

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