Filmetrics F50 光学膜厚测量仪

选择 Filmetrics 的优势
? 嵌入式在线诊断
? 离线分析软件
? 精细的历史数据功能，帮助用户有效的存储，重现与绘制测量结果

现场演示/支持
点几下鼠标就可以在网络上在线看到现场演示！请联系我们，我们的应用工程师会在电脑上为你演示薄膜测量是多么容易

自动化薄膜厚度绘图系统
依靠 F50 先进的光谱测量系统，可以很简单快速地获得直径 450 毫米的样品薄膜的厚度分布图。采用 r-θ 极坐标移动平台，可以非常快速的定位所需测试的点并测试厚度，测试非常快速，大约每秒能测试两点。用户可以自己绘制需要的点位地图。 F50 系统配置高使用寿命长的移动平台，确保
能够做成千上万次测量。系统中预设了许多极坐标形、方形和线性的图形模式，也可以编辑自己需要的测试点。只需掌握基本电脑技术便可在几分钟内建立自己需要的图形模式。

可测样品膜层基本上所有光滑的。非金属的薄膜都可以测量。可测样品包括：
氧化硅 氮化硅 类金刚石 DLC
光刻胶 聚合物 聚亚酰胺
多晶硅 非晶硅 硅

相关应用
半导体制造 液晶显示器
? 光刻胶 ? 盒厚
? 氧化物 ? 聚酰亚胺
? 氮化物 ? ITO
光学镀层 生物医学
? 硬涂层 ? 聚对二甲苯
? 抗反射层 ? 生物膜
? 滤光器 ? 消化纤维

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