参数

型号SURFCOM 130A

测量范围

X 轴（横向） 50 mm

Z 轴（纵向） 800μm（量程/分辨率：800μm/0.012μm、80μm/0.001μm、8μm/0.0001μm）

直线度：0.3 μm/50 mm

分析项目

对应标准对应JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CNOMO标准

参数：Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, R Δa, RΔq, Rλa, Rλq, TILT A, Ir, Pt, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk,

      Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc, AVH, Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, CPM, SR, SAR

评价曲线：断面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、

          DIN4776特殊曲线、粗糙度Motif曲线、波纹度Motif曲线、包络波纹度曲线

          特性曲线负荷曲线、振幅分布曲线、功率曲线图

倾斜补偿方法:直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、

             样条补偿（直线补偿、R面补偿及两端补偿可在任意范围进行补偿）

倍率

纵向倍率（Z 轴） 50 、100 、200 、500 、1 k、2 k 、5 k 、10 k、20 k 、50 k 、100 k 自动

横向倍率（X 轴） 1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 自动

滤波器种类:标准型滤波器（2RC）、相位补偿型滤波器（2RC）、相位补偿滤波器（高斯）

测量速度: 0.15、0.3 、0.6 、1.5 、3 mm/s（ 5速）

传感器针尖半径：2μm，材质：金刚石，测量力：0.75mN

卓越的功能

AI 功能搭载新手也易于理解的AI功能

段差分析功能适合半导体零部件的膜厚及面积测量

PC 卡可输出文本文件并将数据提供给计算机。

标准附件标准片（E-MC-S24B）、记录纸（E-CH-S21A）、手写笔（E-MA-S54A）、使用说明书、支持软件

电源AC100 V?240 V ±10 %

设置尺寸（W×D×H) 700 mm×300 mm×150 mm

质量8 kg