参数

型号  SURFCOM 1400G

测量范围

Z 轴（纵向）： 800μ ｍ

X 轴（横向）： 100 mm 200 mm

测量分辨率：0.02μ ｍ～ 0.0004μ ｍ　(0.0001μ ｍ，使用高倍率传感器 )

Ｘ轴指示（横向） ±（1+2L/100）μ ｍ　（L ：测量长度 mm），测量分辨率0.1μ ｍ

驱动部：直线度0.05+1.5L/1000μ ｍ　（L ：测量长度 mm）

检测方式：莫尔光栅尺线性光栅尺

分析项目

对应标准对应JIS-2001、JIS-1994、JIS-1982、ISO-1997、ISO-1984、DIN-1990、ASME-1995、CNOMO 标准

参数

Ra, Rq, Ry, Rp, Rv, Rc, Rz, Rmax, Rt, Rz.J, R3z, Sm, S, RΔa, RΔq, Rλa, Rλq,

TILT A, Ir, Pt, Pc, Rsk, Rku, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, VO, K, tp, Rmr, tp2, Rmr2, Rδc,

 Hmax, Hmin, AREA, NCRX, R, Rx, AR, NR, CPM, SR, SAR

评价曲线

断面曲線、粗さ曲線、ろ波うねり曲線、ろ波中心線うねり曲線、転がり円うねり曲線、

断面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、

DIN4776特殊曲线、粗糙度Motif曲线、波纹度Motif曲线、包络波纹度曲线

特性曲线负荷曲线、振幅分布曲线、功率曲线图

倾斜补偿方法：直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、样条补偿（直线补偿、R面补偿及两端补偿可在任意范围进行补偿）

倍率

纵向倍率（Z 轴） 50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 、10 k 、20 k 、50 k 、100 k 、200 k* 、500 k*、自動

横向倍率（X 轴） 1 、2 、5 、10 、20 、50 、100 、200 、500 、1 k 、2 k 、5 k 、自動

滤波器种类标准型滤波器（2RC）、相位补偿型滤波器（2RC）、相位补偿滤波器（高斯）

测量速度 0.03、0.06、0.15、0.30、0.60、1.5、3、6mm/s（ 8速）

立柱上下运动速度：（Z 轴） 10 mm/s

检测方式：差动变压器

测量力：0.75 mN　

测针半径（测针材质） 粗糙度测针：2μm R（60°圆锥金刚石） 波纹度齿轮头：800μm R（红宝石球）各1 个　标准配置

立柱上下移动行程：250 mm 

尺寸：600×317 mm