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瑞士Eulitha紫外光刻机,新一代紫外光刻系统
价格：电议
地区：北京市
电 话：010-82867920

北京汇德信科技有限公司

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PhableR 100 紫外光刻机是一套低成本的光学曝光系统，但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似，涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面，被紫外光束照射。由于Eulitha公司拥有突破性的PHABLE曝光技术，在"PHABLE"模式下，分辨率不再受到衍射的限制，从而曝光出亚微米的线性光栅和二维光栅（六角形和正方形），且曝光结果非常均匀，质量很好；在"mask aligner"模式下，能非常轻松地获得微米尺寸的图形。

 

特点：

 

  • 可达到步进光刻机的高分辨率

  • 操作简单性与紫外曝光机相同

  • 光子图形化的低成本解决方案

 

优势：

 

  • 高分辨率（低于300nm pitch）

  • 全场曝光

  • 非接触式：防止掩膜受损及被污染

  • 焦深几乎没有限制

  • 表面不平的衬底也适用（如外延片）

  • 均匀性高

  • 具有套刻对准能力

  • 商业化的可获得的光刻胶和材料都适用

  • 使用传统的掩膜板（玻璃上镀铬）

  • 频率倍增

 

PhableR 100革新性紫外光刻机

应用：

 

  • LED光萃取层

  • 蓝宝石衬底图形化（PSS）

  • 磁性纳米结构

  • 减反射图形

  • 太阳能光伏

  • 电通讯光栅

  • 光谱仪光栅

  • 等离子图案

  • 编码器标尺

  • 滤色镜

  • 生物传感器




企业类型

贸易商

新旧程度

全新

原产地

瑞士