瑞士Eulitha紫外光刻机,新一代紫外光刻系统
价格:电议
地区:北京市
电 话:010-82867920

PhableR 100 紫外光刻机是一套低成本的光学曝光系统,但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似,涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面,被紫外光束照射。由于Eulitha公司拥有突破性的PHABLE曝光技术,在"PHABLE"模式下,分辨率不再受到衍射的限制,从而曝光出亚微米的线性光栅和二维光栅(六角形和正方形),且曝光结果非常均匀,质量很好;在"mask aligner"模式下,能非常轻松地获得微米尺寸的图形。

 

特点:

 

  • 可达到步进光刻机的高分辨率

  • 操作简单性与紫外曝光机相同

  • 光子图形化的低成本解决方案

 

优势

 

  • 高分辨率(低于300nm pitch)

  • 全场曝光

  • 非接触式:防止掩膜受损及被污染

  • 焦深几乎没有限制

  • 表面不平的衬底也适用(如外延片)

  • 均匀性高

  • 具有套刻对准能力

  • 商业化的可获得的光刻胶和材料都适用

  • 使用传统的掩膜板(玻璃上镀铬)

  • 频率倍增

 

PhableR 100革新性紫外光刻机

应用:

 

  • LED光萃取层

  • 蓝宝石衬底图形化(PSS)

  • 磁性纳米结构

  • 减反射图形

  • 太阳能光伏

  • 电通讯光栅

  • 光谱仪光栅

  • 等离子图案

  • 编码器标尺

  • 滤色镜

  • 生物传感器




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贸易商

新旧程度

全新

原产地

瑞士