小型离子溅射仪 型号:M31/SD-900小型离子溅射仪 型号:M31/SD-900

原理：

依据二极(DC)直流溅射原理。溅射电流调整控制器、微型真空气阀在工作时结合内部自

动控制电路控制真空室压强、电离电流及任意所需要的电离气体。根据电场中气体电离

特性，采用大容量样品溅射真空室和相应面积溅射靶，使溅射镀层均匀纯净。

参数：

? 主机规格：300mm×360mm×380mm（W×D×H）

? 靶（部电极）：50mm×0.1mm（D×H）

? 靶材：Au（配）

? 样品室：硼硅酸盐玻璃 160mm×120mm（D×H）

? 靶材尺寸：Ф 50mm

? 真空指示表： 高真空度：≤ 4X10-2 mbar

? 离子电流表： 大电流：50mA

? 定时器： 长时间：0-360

? 微型真空气阀：可连接φ 3mm 软管

? 可通入气体： 多种

? 高电压： -1600 DCV

? 机械泵：准配置 2L/（国产 VRD-8）

用途：

适用于电镜实验室的扫描电子显微镜（EM）样品制备，非导体材料实验电极制作。

2、可调节溅射电流和真空室压强以控制镀膜的速率和颗粒的大小。

3、ETPLAMA 手动启动按钮可预先设置好压强和溅射电流避免对膜造成不必要的损伤。

4、真空保护可避免真空过低造成设备短路。

5、同时可以通过换不同的靶材（金、铂、铱、银、铜等），以达到细颗粒的涂层。

6、通过通入不同的惰性气体以达到纯净的涂层。

技术规格 参数

主机 300mm×360mm×380mm（W×D×H）

真空规 皮拉尼真空计

靶（部电极）尺寸 Φ50mm×0.1mm（D×H），Au（配）

样品室尺寸 160mm×120mm（D×H），硼硅酸盐玻璃

溅射面积 Φ50mm

高真空度 ≤4×10-2mbar

大电流 50mA

定时器时间 0-360s

微型真空气阀 可连接φ3mm软管

可通入气体 多种

高电压 -1600DCV

电源 220V AC,50Hz接地三脚插头

机械泵 2L/

重量 ~20Kg

小型离子溅射仪 型号:M31/SD-900小型离子溅射仪 型号:M31/SD-900