XVSST系列运动平台是星微科技持续在材料、特有加工技术、精密结构分析和设计上不断投入的结果，我们研发的目标是为今天要求严格的半导体工业设备提供高和高产出率的运动系统，同时是我们有着在迎接未来的挑战中保持的技术能力SST气浮平台能满足在电子及半导体加工、检测设备的具有挑战性的要求。

产品技术特点
传统的平面式XY双驱气浮平台都采用双气浮导向导轨的形式，双气浮导轨结构在安装调试时对导轨本身的以及导轨之间的平行度要求极高，并且该结构形式对环境恒温要求也很高；SST系列运动平台为了解决这些问题采用了开放式T型气浮结构设计，T型结构具有机械安装调试简单，对环境的恒温要求低，便于集成到客户产品当中。

产品技术指标

产品技术参数

产品尺寸图

应用领域
科研；工业制造；激光加工制造；电子零件生产、组装；半导体制造、检测；平面显示器制造、检测