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真空高低温运动平台
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北京星微自动化科技有限公司

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  • 行程： 50 to 250mm；

  • 分别率：1um/步；

  • 无回滞，刚性强；

  • 承载能力：20kg；

  • 可堆叠 XYZ三轴平台

  • 真空度：1 x 10-10 mBar；

  • 烘烤温度：200°C；

  • 交叉滚子轴承；

  • 防辐射： 1 x 106 Gy ；

  • 可以根据客户要求定制；

  • 规格

    单位

    LTVL

    LTVH

    行程

    mm

    50/ 100 / 150 /200 /250

    50/ 100 / 150 /200 /250

    整步分别率

    μm

    5

    1

    速度

    mm/s

    15

    4

    推荐真空环境中速度

    mm/s

    2

    0.8

    重复定位

    μm

    1

    0.2

    水平负载能力

    kg

    20

    20

    负载力矩

    Nm

    <5

    <5

    轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A

    kg

    3

    10

    间隙

    μm

    0

    0

    转动, 俯仰 & 偏载 (无负载

    μrad

    <25

    <25

    Roll Compliance

    μrad/Nm

    33

    33

    Pitch & Yaw Compliance

    μrad/Nm

    33

    33

    直线度

    μm

    <1.3μm / 100mm

    <1.3μm / 100mm

    使用步进电机


    D35.1

    D35.1

    真空度

    mBar

    1 x 10-10

    1 x 10-10

    恩度

    °C

    200

    200

    MTBF (5kg负载和30%占空比)

    hrs

    15,000

    10,000