1、X1轴

  1.1 测量范围：120mm

  1.2 分辨率：0.2μm

  1.3 检测方法：莫尔光栅

  1.4 驱动速度：0.1, 0.2, 0.5, 1mm/S，自定义

  1.5 测量方向：向后

  1.6 直线度：3μm/100mm

  1.7 指示：±（3.5+2L/100）μm

2、Z1轴

  2.1 测量范围：24mm 

  2.2 分辨率：0.2μm

  2.3 检测方法：莫尔光栅

  2.4 指示：±（3+|4H|/24）μm

  2.5 测针方向：向下

  2.6 测针抬起：自动

  2.7 测针接触：自接触

  2.8 测针针尖：25μm硬质合金针尖

3、Z立柱

  3.1 行程：320mm

  3.2 方式：电动

4、夹具

  4.1 综合平台：Y向调整、转角调整

  4.2 平口钳：4寸正弦

5、测臂

  5.1 长度：200mm

  5.2 直径：8mm

6、测针

  6.1 类型：单切面

  6.2 长度：32mm

  6.3 直径：4mm