新的光纤耦合TranSpec Micro薄膜厚度显微镜可以将薄膜厚度测量点的大小降到50-100um。测量点的图像可通过装在显微镜上的特殊彩色相机实时查看。

TranSpec Micro薄膜厚度测量仪和我们TranSpec和TranSpec Lite仪器一样采用白光干涉原理。为了测量非常小的点，TranSpec Micro使用装有实时显示相机的光纤耦合显微镜。光纤耦合纤维镜可以将薄膜厚度测量点的大小降到50-100um（根据放大倍数的不同），测量点的图像可通过装在显微镜上的特殊彩色相机实时查看。